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上海首立實(shí)業(yè)有限公司

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微量氣體分析儀

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產(chǎn)品型號(hào)GA-360E

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更新時(shí)間：2022-11-02 14:54:13瀏覽次數(shù)：160次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

微量氣體分析儀它是可以對(duì)用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體（N2、O2、He、Ar、H2、Air）中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度（檢測(cè)感度可至10ppb）連續(xù)檢測(cè)的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)，所以沒有零點(diǎn)漂移，能夠獲得長期穩(wěn)定的檢測(cè)值。由于它通過19英寸RACK方式進(jìn)行了集中，所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易。適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

微量氣體分析儀

產(chǎn)品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時(shí)以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，沒有零點(diǎn)漂移，可以獲得長期穩(wěn)定的連續(xù)檢測(cè)值。

不需要進(jìn)行光學(xué)調(diào)整，維護(hù)性得到了提高。

由于搭載有流量（壓力）異常、斷路器（電磁閥）、失火報(bào)警（GA-360E）、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發(fā)生異常時(shí)采取措施。