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場發(fā)射透射電子顯微鏡

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更新時(shí)間:2023-02-05 08:40:58瀏覽次數(shù):320次

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所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

性能指標(biāo)加速電壓:200KV;電子槍:肖特基熱場發(fā)射超亮電子槍;TEM點(diǎn)分辨率:0.25nm;TEM信息分辨率:0.12nm;STEM分辨率:0.16nm;樣品傾斜角度X/Y:30;能譜能量分辨率:136ev;元素檢測范圍:B~U元素

詳細(xì)介紹

性能指標(biāo)

    1. 加速電壓: 200 KV;
    2. 電子槍:肖特基熱場發(fā)射超亮電子槍;
    3. TEM點(diǎn)分辨率:0.25 nm;
    4. TEM信息分辨率: 0.12 nm;
    5. STEM分辨率: 0.16 nm;
    6. 樣品傾斜角度X/Y:±30°;
    7. 能譜能量分辨率:136 ev;
    8. 元素檢測范圍:B~U元素。 

    主要應(yīng)用

    1. 對各種材料內(nèi)部微結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察;
    2. 粉末、納米顆粒形貌和粒徑觀察;
    3. 選區(qū)電子衍射和晶體結(jié)構(gòu)分析;
    4. 金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、塑料、等顯微結(jié)構(gòu)分析;
    5. 配合能譜儀可以對樣品元素做面分布分析,以及各種元素進(jìn)行定性和半定量微區(qū)分析,元素檢測范圍:B~U元素;
    6. 利用三維樣品桿可以實(shí)現(xiàn)TEM、STEM和EDS三維重構(gòu)。 

    樣品要求

    1. 透射電鏡不能直接觀察所有含有鐵鈷鎳元素的樣品,請做如下處理,否則不予以觀察:粉末樣品請包埋切片,塊體樣品請F(tuán)IB切片;
    2. 透射電鏡能夠觀察200nm以下的樣品;
    3. 對于粉末和液體樣品,要求樣品均勻分散在支持膜上并且干燥,能夠區(qū)分正反面;
    4. 對于塊體樣品,要求樣品大小為直徑3mm的圓,厚度小于200nm;
    5. 高分辨樣品要求厚度小于10nm。

    儀器說明

    1. FEI Talos F200X 場發(fā)射透射電鏡的電子槍為肖特基熱場發(fā)射超亮電子槍,STEM 分辨率可以達(dá)到0.16nm。
    2. 配備4個(gè)SDD探頭的超級(jí)能譜集成到了透射電鏡的極靴里面,對稱地放在樣品的上方,可以高效率探測到微量元素,以及材料成分在一維,二維,甚至三維空間的分布信息。
    3. Talos F200X 還安裝了STEM明場和暗場探頭,可以同時(shí)得到STEM的明場像和暗場像以及髙角環(huán)形暗場像(HAADF)。

    關(guān)鍵詞:能譜儀
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