雙頻激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中*成功的應用之一，是工業(yè)中*具的長度測量儀器。目前干涉儀產(chǎn)品大多為雙頻激光干涉儀，其采用的外差干涉測量原理，克服了普通單頻干涉儀測量信號直流漂移的問題，真正用于實際生產(chǎn)中。
國外生產(chǎn)激光干涉儀的公司有美國的Agilent(前身為HP)、ZYGO、英國的Renishaw等公司。其產(chǎn)品各具特點，但售價也都很昂貴，一度壟斷國內(nèi)市場。SJ6800
國產(chǎn)激光干涉儀的上市將打破這一局面，大大降低國內(nèi)企業(yè)的檢測成本。
產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品型號： SJ6800
產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀
穩(wěn)頻方式： 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度： 0.04ppm
測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）
測量分辨力：1nm
測量*大速度：4m/s
線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃
角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)
主要特點：jue對測量、恒測力、無阿貝誤差
功能特點 1）測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達納米級；采用高精度環(huán)境補償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。
2）具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。
3）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，滿足機床誤差修正的要求。
4）具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等。
5）內(nèi)置各種類國標（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標、DIN（德標）、JIS（日標）等機床檢驗標準?？梢罁?jù)各種機床標準分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。
6）可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償。
7）測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。
8）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。
產(chǎn)品配置 SJ6800 激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
· 直線度測量 激光頭出射后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡種，鏡直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進光口，有光電探測器、分析器完成計數(shù)和測量。
測量機床直線度
在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或直線度反射鏡運動所產(chǎn)生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動，這樣操作有利于提高測量的準確性和精度。直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。
· 垂直度測量 垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸，進行垂直度測量就是在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。
測量機床垂直度
共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。
· 回轉(zhuǎn)軸測量 利用SJ6000激光干涉儀的角度測量附件，結(jié)合高精密零級多齒分度臺，便可以對回轉(zhuǎn)軸進行校準。高精度零級多齒分度臺可以旋轉(zhuǎn)并鎖定到0°到360°中72個位置中的任何一個，每個位置的間隔為5°，定位誤差在1''。
測量機床回轉(zhuǎn)軸精度
用激光頭、角度干涉鏡和角度反射鏡測量轉(zhuǎn)臺的角度位置。軟件將轉(zhuǎn)臺的角度位置與來自激光頭和角度光學鏡的讀書合并在一起，顯示被校準軸的真實轉(zhuǎn)角位置。
SJ6800
國產(chǎn)激光干涉儀性能達到了國外儀器的水準，價格是國內(nèi)儀器的良心價。中圖儀器以技術(shù)實力為依據(jù)，在測量精度、測量速度、測量類型等方面為用戶提供了更多選擇。
