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行業(yè)產(chǎn)品

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上海納嘉儀器有限公司


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臺(tái)階儀/ 探針式輪廓儀 能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D臺(tái)階高度

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更新時(shí)間:2023-07-06 15:05:10瀏覽次數(shù):205次

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Alpha-StepD-500探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D臺(tái)階高度

詳細(xì)介紹



Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾納米到1200微米的2D臺(tái)階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 D-500包括一個(gè)手動(dòng)140毫米平臺(tái)和*的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。


產(chǎn)品描述
Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量,大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。

通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力,可以對(duì)工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。


探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測(cè)量。

通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力,可以對(duì)工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

產(chǎn)品主要特點(diǎn)
臺(tái)階高度:幾納米至1200μm

低觸力:至15mg

視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

緊湊尺寸:占地面積小的臺(tái)式探針輪廓儀/臺(tái)階儀

主要應(yīng)用
臺(tái)階高度:2D臺(tái)階高度

紋理:2D粗糙度和波紋度

形式:2D翹曲和形狀

應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力


產(chǎn)品描述
大學(xué),研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

SIMS:二次離子質(zhì)譜

LED:發(fā)光二極管

太陽能

MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)

汽車

醫(yī)療設(shè)備

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