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IC半導(dǎo)體級(jí) SIO2

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產(chǎn)品型號(hào)SUNANO

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2024-02-14 15:03:06瀏覽次數(shù):96次

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商鋪產(chǎn)品:574條

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聯(lián)系人:袁文軍

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:產(chǎn)品名稱:4英寸二氧化硅拋光硅片 (SiO2)生長(zhǎng)方式:直拉單晶(CZ) 熱氧化工藝直徑與公差:100#177;0.4mm摻雜類型:N型(摻磷、砷、銻) P型(摻硼)晶向:lt;111gt;lt;100gt;電阻率:0.001-50(Ω?cm) 可按客戶要求定制

詳細(xì)介紹

低維材料在線商城可為客戶訂制不同參數(shù)的二氧化硅氧化片,質(zhì)量?jī)?yōu)良;氧化層厚度、致密性、均勻性和電阻率晶向等參數(shù)均按照國(guó)標(biāo)執(zhí)行。
熱氧化物表面形成二氧化硅層。在氧化劑的存在下在升高的溫度下,給過(guò)程稱為熱氧化。通常生長(zhǎng)熱氧化層的在水平管式爐中。溫度范圍控制在900到1200攝氏度,使用濕法或者干法的生長(zhǎng)方法。熱氧化物是一種生長(zhǎng)的氧化物層。相對(duì)于CVD法沉積的氧化物層,它具有較高的均勻性和更高的介電強(qiáng)度。這是一個(gè)*的作為絕緣體的介電層。大多數(shù)硅為基礎(chǔ)的設(shè)備中,熱氧化層都扮演著非常重要的角色,以安撫硅片表面。作為摻雜障礙和表面電介質(zhì)。
應(yīng)用范圍:
1,刻蝕率測(cè)定
2,金屬打線測(cè)試
3,金屬晶圓
4,電性絕緣層

產(chǎn)品名稱:4英寸二氧化硅拋光硅片 (SiO2)
生長(zhǎng)方式:直拉單晶(CZ)  熱氧化工藝
直徑與公差:100±0.4mm
摻雜類型:N型(摻磷、砷、銻) P型(摻硼)
晶向:<111><100>
電阻率:0.001-50(Ω•cm) 可按客戶要求定制
工藝數(shù)據(jù):平整度TIR:<3μm 、 翹曲度TTV: <10μm 、彎曲度BOW< 10μm 、粗糙度<0.5nm、顆粒度< 10 (for size > 0.3μm)
現(xiàn)有規(guī)格:50nm 100nm 200nm 300nm 500nm 1000nm 2000nm
用途介紹:用于工藝等同步輻射樣品載體、PVD/CVD鍍膜做襯底、磁控濺射生長(zhǎng)樣品、XRD、SEM、原子力、紅外光譜、熒光光譜等分析測(cè)試基底、分子束外延生長(zhǎng)的基底、X射線分析晶體半導(dǎo)體
 

 

類型1英寸2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸8英寸
單面拋光片1英寸2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸8英寸
雙面拋光片可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸8英寸
二氧化硅片(SiO2)不可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸可定制
切割片、研磨片可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸不可定制

區(qū)熔本征高阻

不摻雜硅片

可定制2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸不可定制
單晶硅棒1英寸2英寸3英寸4英寸5英寸6英寸不可定制

注:本商城提供多系列多規(guī)格的硅片,標(biāo)價(jià)僅為一種規(guī)格,如需多種規(guī)格請(qǐng)與客服。

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