無(wú)塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無(wú)塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

詳細(xì)介紹

光學(xué)光電無(wú)塵車間裝修主要包括：十萬(wàn)級(jí)潔凈室設(shè)計(jì)施工、線路板廠凈化工程、電子廠房無(wú)塵車間、凈化車間設(shè)計(jì)安裝、無(wú)塵凈化廠房設(shè)計(jì)、光電車間潔凈室、光學(xué)產(chǎn)品凈化車間、無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)、百級(jí)無(wú)塵車間、光電車間凈化室、光學(xué)凈化廠房、恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室、光學(xué)凈化廠房、無(wú)塵潔凈室、萬(wàn)級(jí)凈化車間、LCD凈化凈化廠房、LCD凈化廠房、10級(jí)無(wú)塵室凈化廠房、萬(wàn)級(jí)車間造價(jià)、恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室、30萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室、恒溫恒濕機(jī)組、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室以及凈化工程。

　　潤(rùn)澤凈化科技有限公司，是潤(rùn)澤集團(tuán)旗下專業(yè)從事無(wú)菌室(實(shí)驗(yàn)室、手術(shù)室)、潔凈室(無(wú)塵車間等項(xiàng)目)裝修、高品質(zhì)凈化設(shè)備生產(chǎn)銷售為一體的大型凈化工程企業(yè)。

1.1 光伏新能源硅晶片的生產(chǎn)工藝流程

從大的方面來(lái)講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學(xué)蝕刻、LP-CVD+AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

1.2 各生產(chǎn)工序環(huán)境控制要求

某硅片廠生產(chǎn)4~6英寸光伏新能源硅晶片，產(chǎn)量為480萬(wàn)片/年。此公司光伏新能源硅晶片應(yīng)用于分立器件、功率元件和特種集成電路的制作。

2、空調(diào)凈化系統(tǒng)

空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點(diǎn)，下面來(lái)介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

2.1 空調(diào)系統(tǒng)

1、切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求，設(shè)風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)（PAC）來(lái)保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用雙層百葉風(fēng)口側(cè)送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋面上。切片室的排風(fēng)量較大，新風(fēng)采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋空調(diào)機(jī)S1-1和S1-2來(lái)補(bǔ)充。車間有防塵要求，風(fēng)冷熱泵分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過(guò)濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對(duì)于≥1μm粒子），同樣屋式空調(diào)機(jī)需設(shè)兩級(jí)過(guò)濾器。

其原理圖見(jiàn)圖:

2、爐室、BSD室僅有溫度控制要求，設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)（PAL）來(lái)保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用方形散流器送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋面上。新風(fēng)由相鄰潔凈室正壓過(guò)來(lái)。車間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過(guò)濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對(duì)于≥1μm粒子）。

3、磨片檢查室有溫度和濕度控制要求，設(shè)風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)（PAL）來(lái)保證房間溫度要求，室內(nèi)機(jī)就近放置在車間內(nèi)，接風(fēng)管，采用方形散流器送風(fēng)方式；室外機(jī)放置在屋面上。新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)機(jī)組（MAU-1、2）處理后，接至送風(fēng)管上送到室內(nèi)，相對(duì)濕度由新風(fēng)機(jī)組來(lái)保證。新風(fēng)機(jī)組是與凈化系統(tǒng)共用的。車間有防塵要求，風(fēng)冷電熱分體柜式空調(diào)機(jī)回風(fēng)口處設(shè)中效過(guò)濾器（大氣塵計(jì)數(shù)效率：≥60%，對(duì)于≥1μm粒子），新風(fēng)機(jī)組內(nèi)設(shè)粗、中效過(guò)濾器。

2.2 凈化系統(tǒng)

光伏新能源凈化工程系統(tǒng)用的新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU）和循環(huán)空調(diào)機(jī)組（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷凍水，加熱采用0.2MPa蒸汽，加濕采用0.1MPa的潔凈蒸汽加濕，潔凈蒸汽由純水經(jīng)潔凈蒸汽發(fā)生器產(chǎn)生。

1、CP室凈化級(jí)別為7級(jí)，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，CP室工藝設(shè)備用酸量較多，采用全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組（MAU-3）+高效過(guò)濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效過(guò)濾器送風(fēng)-潔凈區(qū)。

2、ML室凈化級(jí)別為7級(jí)，換氣次數(shù)取為30次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU）+循環(huán)機(jī)組（AHU）+高效過(guò)濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用MAU-1、2新風(fēng)組。

3、CP/CVD室、LP/CVD室、潔凈包裝間凈化級(jí)別為6 級(jí)，換氣次數(shù)取為50次/小時(shí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU）+循環(huán)機(jī)組（AHU）+高效過(guò)濾器送風(fēng)口（HEP-ABOX）的空調(diào)方式。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

4、7級(jí)、6 級(jí)的潔凈室采用的氣流形式為部高效過(guò)濾器送風(fēng)口送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。其氣流流程為：新回風(fēng)混合!中效過(guò)濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-高效過(guò)濾器送風(fēng)口-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。

5、洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級(jí)別為7 級(jí)，采用新風(fēng)機(jī)組（MAU）+循環(huán)機(jī)組（AHU）+風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對(duì)NH4+、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機(jī)組（AHU）內(nèi)增設(shè)化學(xué)過(guò)濾器。5級(jí)凈化間的氣流流程為：新回風(fēng)混合-化學(xué)過(guò)濾器（NH4+）-化學(xué)過(guò)濾器（SQx）-中效過(guò)濾器-表冷器-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

6、除CP室外的潔凈室所需新風(fēng)采用2臺(tái)新風(fēng)機(jī)組（MAU-1、2）集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機(jī)組（AHU）。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過(guò)濾器-中效過(guò)濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機(jī)-送風(fēng)管-各循環(huán)空調(diào)機(jī)組（AHU）。

7、CP室、ML室、洗凈室用酸量相對(duì)較多，CP室、ML室內(nèi)的高效過(guò)濾器送風(fēng)口的擴(kuò)散板需采用不銹鋼板制作，洗凈室內(nèi)的FFU的網(wǎng)板需采用不銹鋼板制作。

8、另需注意，品質(zhì)檢查室根據(jù)工藝要求需采用黑色墻板、黑色板，相應(yīng)采用黑色回風(fēng)口，F(xiàn)FU的網(wǎng)板需采用黑色網(wǎng)板。

3、凈化系統(tǒng)的空調(diào)自動(dòng)控制

新風(fēng)機(jī)組（MAU-1、2）采用變頻風(fēng)機(jī)，由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來(lái)控制變頻器。在接入每個(gè)風(fēng)量及正壓控制循環(huán)機(jī)組（AHU）的新風(fēng)管上均設(shè)置電動(dòng)調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來(lái)調(diào)節(jié)電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化，電動(dòng)調(diào)節(jié)閥的開(kāi)度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)AHU-1、2的風(fēng)機(jī)頻率，以達(dá)到控制目的。

3.1 凈化車間的溫濕度控制

凈化生產(chǎn)車間的濕度是由新風(fēng)機(jī)組MAU-1、2來(lái)保證，控制新風(fēng)機(jī)組送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)，根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來(lái)調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動(dòng)二通閥的開(kāi)度。露點(diǎn)溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。

凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機(jī)組AHU來(lái)保證的，根據(jù)室內(nèi)溫度來(lái)調(diào)節(jié)表冷器回水管上的電動(dòng)二通閥的開(kāi)度。

3.2 供冷系統(tǒng)控制

冷凍水系統(tǒng)方面采用一級(jí)泵，用負(fù)荷控制的方法來(lái)確定冷水機(jī)組及相應(yīng)水泵、冷卻塔的開(kāi)啟臺(tái)數(shù)。根據(jù)設(shè)定供、回水壓差來(lái)自動(dòng)控制供、回水主管之間壓差流量旁通閥。

關(guān)鍵詞：無(wú)塵車間凈化工程無(wú)菌室新能源中效過(guò)濾器