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行業(yè)產(chǎn)品

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北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司


凈化型勻膠機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)CKF-411

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更新時(shí)間:2023-08-20 17:33:51瀏覽次數(shù):123次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

凈化型勻膠機(jī) 產(chǎn)品型號(hào):CKF-411產(chǎn)品編號(hào):TC-022008

詳細(xì)介紹

凈化型勻膠機(jī) 型號(hào)CKF-411
凈化勻膠機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的**用設(shè)備
設(shè)備中涂膠部分四個(gè)工位單片微型機(jī)控制四個(gè)工位同時(shí)工作或分別工作,即各工位的運(yùn)轉(zhuǎn)單**傳動(dòng),轉(zhuǎn)數(shù)單**調(diào)節(jié)及單**顯示。
為保證在涂膠工藝中不飛片,設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個(gè)電磁閥,同時(shí)增加一個(gè)負(fù)壓儲(chǔ)氣罐,保證了吸片牢固和可靠性。
設(shè)備中配有**用的空氣凈化裝置。
主要技術(shù)指標(biāo):
勻膠工位:1個(gè)工位 或者 4個(gè)工位
勻膠時(shí)間:1-99秒
勻膠轉(zhuǎn)數(shù):500-8000轉(zhuǎn)/分
凈化效果:100級(jí)(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))
操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流()
適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠
外形尺寸:650x750x1620mm
外體顏色:瓷白色
1.控制范圍和精度:轉(zhuǎn)速控制范圍為:500-8000轉(zhuǎn),精度為±3%


2.時(shí)間控制范圍為:1-99秒,精度為±5%
3.轉(zhuǎn)速調(diào)整采用精度D/A轉(zhuǎn)換,具有128級(jí)的精度調(diào)諧。
4.轉(zhuǎn)速查看智能化。(自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開或關(guān))自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上??捎柘冗x定,也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。
5.采用**的I2C總線技術(shù)和E2PRAM數(shù)字存儲(chǔ)器,可預(yù)存10組工藝參數(shù)(勻膠機(jī)A型機(jī)可予存10個(gè)延時(shí)時(shí)間,40個(gè)電機(jī)轉(zhuǎn)速參數(shù)。B型機(jī)可予存20個(gè)時(shí)間參數(shù),80個(gè)轉(zhuǎn)速參數(shù);顯影機(jī)可保存9個(gè)慢啟動(dòng)參數(shù),30個(gè)時(shí)間,30個(gè)轉(zhuǎn)速參數(shù))。保存的參數(shù)掉電10年不丟失。調(diào)整后的參數(shù)自動(dòng)保存,簡(jiǎn)化了操作。
6.具有全自動(dòng)智能控制功能,當(dāng)使用全自動(dòng)方式時(shí)只需放好工件,然后按一下ATART(開始)鍵,吸盤自動(dòng)打開,定時(shí)工作完成后延時(shí)6秒電機(jī)停穩(wěn)后自動(dòng)關(guān)閉吸盤,喇叭鳴三聲,提示完成工作。7.定時(shí)的時(shí)間和轉(zhuǎn)速的測(cè)量全部由軟件控制,定時(shí)部分采用倒計(jì)時(shí)的方式顯示,轉(zhuǎn)速測(cè)量部分直接顯示被測(cè)電機(jī)的每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)。調(diào)整部分由軟件和D/A轉(zhuǎn)換器控制,去掉了原使用CMOS電路采用的撥盤開關(guān)和機(jī)械電位器的機(jī)械觸點(diǎn)。在原基礎(chǔ)上增加了全自動(dòng)功能,減少了操作程序,避免了頻繁的開關(guān)面板上的按鍵開關(guān),大大的降低了按鍵開關(guān)因頻繁使用而損壞。提了整機(jī)的可靠性和使用壽命。調(diào)整,啟動(dòng),切換,停止,并有提示音。

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