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濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司


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TDH系列三端器件專用探針臺(tái)FET測(cè)試TFT測(cè)試

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地濟(jì)南市

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更新時(shí)間:2024-09-02 08:17:56瀏覽次數(shù):55次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介 :在實(shí)際的科研中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來(lái)越大,用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實(shí)用,成本較低得TDH系列探針臺(tái),在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺(tái)系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,光學(xué)底座,探針座,四維調(diào)......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息:
  
在實(shí)際的科研中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來(lái)越大,用于測(cè)試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實(shí)用,成本較低得TDH系列探針臺(tái),在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上,去除了非必要得部件,該探針臺(tái)系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,光學(xué)底座,探針座,四維調(diào)整系統(tǒng),真空吸附系統(tǒng);

  TDH系列探針臺(tái)包含有獨(dú)立的三個(gè)精密探針座,可以配合數(shù)字源表等完成對(duì)三端器件的測(cè)試,其可以測(cè)試的材料有二極管、晶體管、場(chǎng)效應(yīng)管、晶圓級(jí)器件等等,可以完成對(duì)其的I/V、c/v、電阻、電容等參數(shù)進(jìn)行測(cè)試。

產(chǎn)品特點(diǎn):

★結(jié)構(gòu)緊湊,功能實(shí)用,質(zhì)量輕巧,方便移動(dòng)

★可用于12寸以內(nèi)樣品測(cè)試

★兼容高倍率電子顯微鏡,可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

★漏電流精度:10pA/50fa(屏蔽箱內(nèi))

★精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng),精密位移,無(wú)回程差設(shè)計(jì)

★應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用

★1微米以上電極/PAD使用

★模塊化設(shè)計(jì),可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊

產(chǎn)品應(yīng)用:

◆LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試(集成我司光電儀器)

◆材料/器件的IV/CV等特性分析測(cè)試

◆晶圓分析測(cè)試

技術(shù)參數(shù)選型:

                                                              規(guī)格/參數(shù)

型號(hào)

TDH-4

TDH-6

TDH-8

TDH-12

外形尺寸(LWH)

450×300×355mm

600×450×355mm

600×500×355mm

600×600×355mm

電力需求

220VC,50-60HZ

樣品臺(tái)

尺寸

4寸

6寸

8寸

12寸

行程

整體XYZR四維位移,XY行程100mm,Z軸行程13mm,R軸360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊

移動(dòng)精度

3μm

背電極測(cè)試功能

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

可以引出電極

定制模塊

可定制位移行程和精度

探針調(diào)整座

XYZ行程

13mm-13mm-13mm

機(jī)械精度

標(biāo)配3μm(可以升級(jí)/1μm)

漏電精度

100fA(配置屏蔽箱)

安裝方式

可調(diào)磁力吸附/真空吸附

接口形式

三同軸(Triax)

光學(xué)成像

放大倍數(shù)

7-200倍(可升級(jí)到720倍)

CCD像素

2000W

中心距離

140mm,升降范圍270mm,總高度350mm

顯示器

12寸顯示器,將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕(可升級(jí)大尺寸顯微鏡)

可選附件

加熱卡盤

高低溫卡盤

鍍金卡盤

隔振支架

積分球測(cè)試選件

屏蔽箱

射頻測(cè)試附件

導(dǎo)入光源支架

波長(zhǎng)單色可調(diào)光纖光源(測(cè)光電流)

顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置

激光切割顯微鏡

轉(zhuǎn)接頭配件

創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),以達(dá)到更好使用效果和性價(jià)比



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