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4D 菲索型相移干涉儀 AccuFiz D 動態(tài)相移型

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產(chǎn)品型號AccuFiz D

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2023-07-06 14:44:28瀏覽次數(shù):251次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹AccuFizD型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動態(tài)干涉儀,采用短相干光源,相干長度約200微米;這使它既保持了菲索型的通常特點(diǎn),又保持了動態(tài)干涉儀的特性,抗振動,對氣流擾動不敏感,并可用于一些特殊的測量需求,特別適合平行平板測量、材料均勻性測量、大口徑凸球面的直接測量等

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹



AccuFiz D型是一種基于偏振光干涉原理的共光路菲索型動態(tài)干涉儀,采用短相干光源,相干長度約200微米;這使它既保持了菲索型的通常特點(diǎn),又保持了動態(tài)干涉儀的特性,抗振動,對氣流擾動不敏感,并可用于一些特殊的測量需求,特別適合平行平板測量、材料均勻性測量、大口徑凸球面的直接測量等。


典型應(yīng)用



1. 遠(yuǎn)程空腔測量。 只要保證透射參考面(TF或TS)距樣品個(gè)反射面的光程小于2m, 即可進(jìn)行測量;而無需擔(dān)心TF或TS離干涉儀本身的距離引起的振動與氣流問題。最典型的應(yīng)用,是大口徑凸球面或凸非球面的測量,例如JSWT次鏡的測量。

2. 平行平板的測量,可以直接測量厚度大于200µm的平行平板,不產(chǎn)生干擾條紋

3.均勻性的測量,可實(shí)現(xiàn)定位干涉,只需保證樣品平行度足夠好,就可以直接測量,對樣品面形精度沒有特殊要求。

4.平面元件應(yīng)力雙折射的測量

5.平面元件的等厚差的測量

6.作為主機(jī),進(jìn)行動態(tài)大口徑干涉儀自研



常規(guī)屬性


采集模式:采用相位相關(guān)探測器瞬時(shí)相移式

出光口徑:100mm,150mm,或其它定制尺寸

工作波段:636nm,相干長度200µm

相機(jī)像素:2K x 2K pexels,12bit

腔長:0-500 mm或0-2 m

外形尺寸:干涉儀: x x cm

光源: x x cm

干涉儀重量:


系統(tǒng)性能



樣品反射率:1-99%(需衰減)

RMS重復(fù)性: ()*

RMS精度:()



*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均

采用10個(gè)數(shù)據(jù),每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均;以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果


配置選項(xiàng)



- 可選150mm 輸出口徑

- 可選4"TF 與RF平面標(biāo)準(zhǔn)鏡

- 可選4"TS (1/20 wv PVr) : F/, F/, F/1, F/, F/, F/, F/, F/

- 可選6"TS (1/20 wv PVr): F/, F/, F/, F/, F/, F/,

- 可選4"或6"樣品5維調(diào)整架

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