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1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間：2024-09-28 10:33:10瀏覽次數(shù)：41次

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長沙沛鈺進(jìn)出口貿(mào)易有限公司

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所在地區(qū)：湖南長沙市

聯(lián)系人：許進(jìn)朝（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

型號(hào)：OTF-1200X-S50-2F產(chǎn)品概述：OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃

詳細(xì)介紹

型號(hào)：OTF-1200X- S50- 2F

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機(jī)械泵相連接（抽速為226L/m）。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

高溫爐

殼體	· 采用雙層殼體 · 爐膛采用多晶氧化鋁纖維，減小能量損失內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

功率	1.75KW
電壓	AC -220V
溫度	· 工作溫度：1200℃（< 1hr） · 連續(xù)工作溫度1100 ℃ 升溫速率 <= 10C/min
爐管	石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)
加熱區(qū)	加熱區(qū)長度: 8" (200mm)
溫控系統(tǒng)	· PID30段程序化控溫 · 控溫精度: +/- 1℃ 控溫儀表操作視頻
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長使用壽命）

兩路混氣系統(tǒng)

· 兩個(gè)浮子流量計(jì)量程為16 —100mL/min

· -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)

· 三個(gè)機(jī)械壓力表：-0.1-0.15 MP

· 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥

· 后端裝有φ6.35卡套接頭，無需通電

· 外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").

· 凈重: 14 lbs.

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真空法蘭和配件

結(jié)構(gòu)

標(biāo)準(zhǔn)真空配件:

· 一個(gè)防腐型真空計(jì)

· 一個(gè)φ6.35的卡套接頭

· 兩個(gè)KF25轉(zhuǎn)接頭

一個(gè)600mm的不銹鋼波紋管

防腐型真空計(jì)

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）

真空泵

我公司有多種真空泵可選，請(qǐng)點(diǎn)擊圖片，或是致電我公司銷售

產(chǎn)品凈重

100 lbs

產(chǎn)品尺寸

· 爐體:340 x 300 x 400mm

· 真空泵:440 x 160 x 300mm

混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm

運(yùn)輸重量

200lbs

開門斷電

為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期（不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件）

質(zhì)量認(rèn)證

· CE認(rèn)證

· 所有電器元件（>24V）都通過UL / MET / CSA認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證

使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

· 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

關(guān)鍵詞：浮子流量計(jì) 壓力表真空計(jì) 真空泵減壓閥