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真空紫外橢偏儀

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產(chǎn)品型號(hào)UVISEL 2 VUV

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地國(guó)外

聯(lián)系方式：王先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-04-11 11:52:19瀏覽次數(shù)：164次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：96條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：王先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空紫外橢偏儀專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性；*的超快測(cè)量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?/p>

詳細(xì)介紹

真空紫外橢偏儀專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收。具備高度準(zhǔn)確性；*的超快測(cè)量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?/p>

 

真空紫外橢偏儀產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 50KHz 高頻PEM 相位調(diào)制技術(shù)

  • 45 秒內(nèi)完成充氮?dú)?/p>

  • 2 分鐘內(nèi)完成樣品室抽真空

  • 8 分鐘內(nèi)完成光譜全譜范圍內(nèi)測(cè)量

  • 兩種工作模式：氮?dú)馇逑唇Y(jié)合抽

  • 真空、連續(xù)氮?dú)馇逑?/p>

  • 光譜范圍：147nm~850nm；147nm~2100nm

 

 

重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域

  • 超薄膜

  • 157nm 光刻新材料

  • 有機(jī)材料、高分子材料

  • 高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz

  • 抗反射涂層

  • 半導(dǎo)體和介電材料電子躍遷

  • MgF2、CaF2、LaF3

 

 

 

關(guān)鍵詞：橢偏儀

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