簡要描述：氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

詳細(xì)介紹

氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測。

真空探針臺-2-760.jpg

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山東大學(xué)-真空探針臺1.jpg

技術(shù)參數(shù)
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
上蓋開啟	鉸鏈側(cè)開
內(nèi)腔體尺寸	φ140x180
加熱臺材質(zhì)	304不銹鋼
觀察窗尺寸	φ75
加熱臺尺寸	50x50
加熱臺溫度	室溫-350℃可調(diào)
加熱臺溫控誤差	±1℃
真空度	機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽氣口	KF25
氣體進(jìn)氣口	3mm-6mm卡套接頭
進(jìn)氣閥門	高精密針閥
抽氣閥門	KF25真空擋板閥
壓力表	機(jī)械壓力表 -0.1-0.15mpa
信號電極	4個(gè)
探針數(shù)量	4個(gè)
探針材質(zhì)	φ1.5鎢針其他材質(zhì)可選
探針移動(dòng)平臺
X軸移動(dòng)行程	30mm ±15mm
X軸控制精度	≤0.1MM
Y軸移動(dòng)行程	13MM ±6.5mm
Y軸控制精度	≤0.05MM
Z軸移動(dòng)行程	13mm ±6.5mm
Z軸控制精度	≤0.05MM
信號電極
電極芯	1芯
電極引出接頭	BNC母頭
電極引出線	銅網(wǎng)信號屏蔽線
BNC引出接頭	X4
額定電流	≤5A
額定電壓	≤220V
電極芯直徑	φ1mm
接觸電阻	≤5MΩ
絕緣電阻	≥1000 MΩ
外殼接地	是
電子顯微鏡
電子顯微鏡根據(jù)客戶需要配置不同倍率請和客服溝通