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高溫氣敏測試臺 真空探針臺

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間:2024-04-25 15:16:51瀏覽次數(shù):90次

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產(chǎn)品簡介

高溫氣敏測試臺 真空探針臺,體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

詳細(xì)介紹

高溫氣敏測試臺 真空探針臺,體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,可以使探針臺在一個基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級??筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級。增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。


  • 可處理不同尺寸的晶圓

  • 可測試芯片、晶圓

  • 可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物

  • 模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,具有較好的靈活性


高溫氣敏測試臺 真空探針臺參數(shù)


真空腔體

類型

加熱型350   或者加熱制冷型 室溫到350 室溫到-190

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

腔體內(nèi)尺寸

φ90x40mm

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm

腔體抽氣口

KF16

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體出氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺

樣品臺材質(zhì)

304不銹鋼

樣品臺尺寸

26X26mm

樣品臺-視窗 距離

30mm(可選凹視窗間距15mm

樣品臺測溫傳感器

A    PT100鉑電阻

樣品臺溫度

室溫到350℃(可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)

樣品臺測溫誤差

±0.2

樣品臺變溫速率

高溫10/min   低溫5/min  

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號輸入類型

PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線

探針

電信號接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可定做6探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸控制精度

5μm

Y軸移動行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

5μm

Z軸移動行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

5μm

數(shù)碼顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡放大+電子放大

顯微鏡放大倍數(shù)

100

顯微鏡工作間距

50-150mm

相機(jī)分辨率

1080P  60  

相機(jī)信號輸出

HDMI輸出+USB輸出

LED可調(diào)光源

LED光源

顯示屏

5 屏幕一體機(jī)




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