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全自動(dòng)單工位晶圓減薄機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DL-GD3002A-X

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更新時(shí)間：2024-10-02 13:45:34瀏覽次數(shù)：110次

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深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生（運(yùn)營(yíng)）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

全自動(dòng)單工位晶圓減薄機(jī)具有多段磨削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求。兼容4寸~12寸(Φ100mm~Φ300mm)晶圓研削減薄加工。

詳細(xì)介紹

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(In-Feed)磨削原理，兼容4寸~12寸(Φ100mm~Φ300mm)晶圓研削減薄加工。

◎ 設(shè)備配有MARPOSS精密在線測(cè)量?jī)x單元，加工時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品厚度，精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測(cè)量NCG。

◎ 設(shè)備具有多段磨削程序、超負(fù)載等待等功能，滿足各類工藝需求。

◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的靜壓氣浮磨削主軸、1個(gè)承片主軸的全自動(dòng)單工位磨削減薄機(jī)。

◎ 為了實(shí)現(xiàn)高精度、高品質(zhì)的加工，搭載了高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的氣浮主軸。工作臺(tái)的主軸亦同樣搭載高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹的機(jī)械軸承部件。

◎ 全自動(dòng)上下料?？蛇M(jìn)行4寸(40um)~12寸(80um)超薄晶圓加工。

◎ 配置了觸摸式液晶顯示器，提高了操作便利性?？刂飘?huà)面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫(huà)面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作。

性能參數(shù)