產(chǎn)品特色

●  準(zhǔn)確。流量測量具有NIST可溯源精度，適用于低至滿量程1/200th的各種氣體，還可利用COMPOSER™氣體編輯器自定義您自己的氣體組成。

●  使用簡單。只要您打開氣體質(zhì)量流量計，氣體質(zhì)量流量計便能顯示您所選工藝設(shè)備中的實時流量、壓力和溫度讀數(shù)。

●  連接。艾里卡特氣體質(zhì)量流量計默認采用數(shù)字與模擬兩種通訊方式；訂購時，可選擇以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通訊，方便與您的數(shù)字工業(yè)或?qū)嶒炇揖W(wǎng)絡(luò)整合。

精度升級

量程為10 SCCM - 3000 SLPM，

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度          ± 0.6%讀數(shù) 或± 0.1%滿量程（取值）

測量范圍                        0.1 ~ 99%滿量程

重復(fù)性                           ± 0.1%滿量程

質(zhì)量流量零點漂移          ± 0.01%滿量程/ ℃溫差

                                      ± 0.01%滿量程/ Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移          ± 0.01%讀 數(shù)/ ℃溫差

                                      ± 0.1 %讀 數(shù)/ Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求    非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類    內(nèi)置了98種氣體，請參考氣體兼容表

                  一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量       程    從0 - 10 SCCM 到 0 - 3000 SLPM（）

測量范圍    0.5% ~ 99%滿量程

顯示流量    128%滿量程

顯  示  屏    帶集成觸摸板的單色LCD或彩色TFT顯示器

顯示方式    同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

精       度    ± 2%滿量程 精度升級部分見上段

重  復(fù)  性    ± 2%滿量程

質(zhì)量流量溫度漂移    0.02%滿量程 / ℃ / Atm

響應(yīng)時間    優(yōu)于10 ms

預(yù)熱時間    < 1 s

標(biāo)定工況    25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ± 0.75 ℃

工作濕度    0 ~ 99%

工作壓力    320 psia

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率    數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

                         模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號    RS-232、RS-485、Modbus、EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS

模擬輸入/輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模擬信號精度    在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓    7-30 VDC （15-30 VDC用于4-20 mA輸出）

供電電流    0.040 A （+ 輸出電流在 4-20 mA）

電氣接口    DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質(zhì)    303和302不銹鋼、Viton®、熱固化硅橡膠、玻璃增強聚苯硫醚、熱固化環(huán)氧樹脂、鋁、金、硅、玻璃。

如果您申請需要其它材料，請聯(lián)系我們。

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）

*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢