真空閥門是真空系統(tǒng)中用來調(diào)節(jié)氣流量、切斷和接通管路的元件，按照其工作原理主要分為真空蝶閥、真空隔膜閥、真空擋板閥、真空球閥、真空電磁閥等等。
真空閥門具有下列特點(diǎn)：工作壓力低于大氣壓。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一半不超過-70~+150℃的范圍。
對這類閥門zui基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)域墊片材料的致密性。
按照介質(zhì)壓力真空閥門可以分為四組：
- 低真空閥門：介質(zhì)壓力P=760~1毫米汞柱；
- 中真空閥門：P=1X10-3毫米汞柱；
- 高真空閥門：P=1X10-4~1X10-7毫米汞柱；
真空閥門選用是要考慮的依據(jù)以下幾點(diǎn)：
- 根據(jù)工作壓力有低真空閥門、高真空閥門和超高真空閥門；
- 根據(jù)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)有真空蝶閥、真空球閥、真空隔膜閥、真空擋板閥、真空插板閥、真空角閥、真空直通閥、真空三通閥等。
- 根據(jù)傳動(dòng)原理有手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)、電磁。一般氣動(dòng)為電磁先導(dǎo)、氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過程，也可以用手來控制先導(dǎo)閥氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過程。電動(dòng)為手、電兩用，當(dāng)停電時(shí)可以用手動(dòng)進(jìn)行操作。
- 根據(jù)材料含有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門。
根據(jù)真空閥門的密封材料可分為金屬密封或非金屬密封閥門。軸封用O形橡膠圈一般真空動(dòng)密封的漏率為10-4Pa.L/S，在軸運(yùn)動(dòng)過程中真空度不高，可用于要求不高的真空條件下使用；軸封為波紋管密封，其漏率為10-7Pa.L/S，適用于超高真空條件下使用。
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