EVO 系列掃描電子顯微鏡平臺
模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用
產(chǎn)品描述:
EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗結(jié)合在一起, 同時能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學(xué), 材料科學(xué), 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域,憑借廣泛的可選配置, EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。
產(chǎn)品特點:
- 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的多功能解決方案
- 不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品
- 使用LaB6燈絲,能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
- 對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色
- 可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求
便捷的可用性
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進行交互式工作流程控制。它簡單易學(xué), 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本,甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。
優(yōu)異的圖像質(zhì)量
EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài), 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時,選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分,通過重新定位感興趣區(qū)域,并以多種方式收集數(shù)據(jù),形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進行材料表征或零件檢驗,或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián),進行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。
適合更多用戶操作,對于經(jīng)驗豐富的以及新手用戶操作都很方便
在實際的實驗室環(huán)境中,SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說,操作SEM就變得具有挑戰(zhàn),比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師,他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)。 EVO 則同時考慮了這兩類用戶的需求,用戶界面選項既能滿足有經(jīng)驗的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。
SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶使用的控制界面, 專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級的成像參數(shù)和分析功能。
SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡化圖形用戶界面, 新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。
智能導(dǎo)航與成像,大大提高樣品的測試效率,以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出.
蔡司導(dǎo)航相機
相機可以安裝在倉室前方, 以監(jiān)測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機);或安裝在真空室倉門上方 (導(dǎo)航相機), 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設(shè)置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預(yù)定義位置, 并在整個樣品測試過程中輕松導(dǎo)航。
自動化智能成像
EVO實現(xiàn)了對樣品批量自動、無人值守的圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶能夠自定義邊界區(qū)域,自動生成所需的視圖或放大倍數(shù)確定的感興趣區(qū)域,并開始自動獲取圖像。自動化智能成像將大大提高樣品的測試效率,以及更多的數(shù)據(jù)產(chǎn)出。
將您的研究提升一個層次
使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像
六硼化鑭陰極相較于傳統(tǒng)的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現(xiàn)在以下兩個方面:
- 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下, 有更多探針電流可供使用, 從而使圖像導(dǎo)航和優(yōu)化更容易
- 在相等的探針電流 (信噪比) 下, 光斑直徑要小得多, 從而提高了圖像分辨率
低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲, 右: 使用LaB6燈絲)
當(dāng)在具有挑戰(zhàn)性的成像條件下, 使用LaB6燈絲的用戶將有高達10倍的光束亮度, 從而提高了圖像分辨率和對比度。
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
工作流程自動化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處
由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商, 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合,使其功能能夠發(fā)揮得更好。
通過使用Shuttle & Find(蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分),您可以在(數(shù)碼)光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡*的光學(xué)對比方法與同樣*的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合, 獲得互補的數(shù)據(jù), 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理。
EVO Element EDS能譜整體解決方案
EVO可以配置集成的 EDS 系統(tǒng), EVO Element。通過只使用一臺電腦來控制 EDS 和 SEM, 從而提高了可用性。同時通過為顯微鏡和 EDS 控制提供的用戶界面, 可以實現(xiàn)并行控制。
EVO Element EDS 解決方案是集成的選擇, 由于在售后服務(wù)支持方面的整合,所以它更具有價格優(yōu)勢。
技術(shù)參數(shù)
型號 |
| EVO 10 | EVO 15 | EVO 25 | |||
樣品室規(guī)格 |
| 310 mm*220mm (直徑*高度) | 365 mm* 275 mm (直徑*高度) | 420 mm* 330 mm (直徑*高度) | |||
電動載物臺行程XYZ | 載物臺可通過鼠標(biāo)或可選的操縱桿和控制板調(diào)節(jié) | 80 x 100 x 35 mm | 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm | |||
大樣品高度 |
| 100 mm | 145 mm | 210 mm | |||
大樣品直徑 |
| 230 mm | 250 mm | 300 mm | |||
未來可升級途徑 | 電子束襯管、擴展壓力、 水蒸氣可變壓力和氣體擴展壓力 | ||||||
圖像處理 | 32,000 × 24,000 像素;通過積分平均值法采集信號(掃描速度 2 或以上) | ||||||
系統(tǒng)控制 | 通過鼠標(biāo)和鍵盤操作的 SmartSEM(3) 圖形用戶界面 | ||||||
通過 23" 觸摸屏、鼠標(biāo)和可選硬件控制面板操作的 SmartSEM Touch(2) 圖形用戶界面 | |||||||
配有旋轉(zhuǎn)控制功能的硬件控制面板,用以在成像期間增強手動反饋和 實現(xiàn)更直觀的控制 | |||||||
易于使用的功能 – 自動飽和度、自動對齊、樣品選擇和自動成像 | |||||||
Windows® 10 多國語言版 | |||||||
實用需求 | 100–240 V,50 或 60 Hz 單相, 無需水冷 | ||||||
描述 |
| 選擇 EVO 10(可選配BSD和EDS)是您想以一個非常實惠的價格購買掃描電子顯微鏡的切入點。即使這個EVO真空室很小,它也不同于臺式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。 | EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念, 并擅長于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室, 并增加對不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式, 你將有一個多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的解決方案。 | EVO25 是工業(yè)的主力解決方案, 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件。可選的 80 mm Z 軸行程載物臺可進一步擴展 EVO 25的功能, 它可以處理重量高達2公斤的樣品甚至傾斜。此外, 大的真空室將能夠容納多個分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。 | |||
高真空模式 (HV) 導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析 | |||||||
可變壓力模式 (VP) 不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析 | |||||||
擴展壓力模式 (EP) | |||||||