SI6000激光干涉儀介紹：

SI6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

1、可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

2、可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3、可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

4、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

5、具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

6、支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

SI6000激光干涉儀優(yōu)點(diǎn)：

SI6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

SI6000激光干涉儀線性測(cè)量：

SI6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SI6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。其中，線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。

線性測(cè)量

測(cè)量距離：(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)

測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃

測(cè)量分辨力：1nm

測(cè)量速度：4m/s

SI6000激光干涉儀角度測(cè)量：

角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的角度值

角度測(cè)量

軸向量程：(0~15)m

測(cè)量范圍：±10°

測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

測(cè)量分辨力：0.1″

SI6000激光干涉儀直線度測(cè)量：

直線度干涉鏡在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SI6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的直線度值。

直線度測(cè)量

注：R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀平面度測(cè)量：

平行度測(cè)量是在直線度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線度測(cè)量組成，參見(jiàn)下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ

平面度測(cè)量

軸向量程：(0~15)m

測(cè)量范圍：±1.5mm

測(cè)量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)

基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)

測(cè)量分辨力：0.1μm

SI6000激光干涉儀垂直度測(cè)量：

垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線度測(cè)量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

垂直度測(cè)量

注：R為垂直度結(jié)果；M為測(cè)量距離，單位：m

SI6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH(0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa(65~115)kPa

角度測(cè)量范圍：(0~360)°

測(cè)量精度：±1″

分辨力：0.1″

轉(zhuǎn)速：10rpm

跟蹤速度：2rpm

重量：1.9kg

高度：148mm

直徑：112mm

通信方式：藍(lán)牙傳輸

供電方式：鋰電池

正交觸發(fā)盒

信號(hào)輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號(hào)、10μApp微電流信號(hào)

輸出形式：10μs脈沖

觸發(fā)延時(shí)：0.1μs

供電電源：12VDC

尺寸重量與供電

便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm

標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg

供電電源：(100~240)VAC

SI6000激光干涉儀配置清單：