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1600℃真空氣氛管式爐CVD系統(tǒng)（CVD-TF）

產(chǎn)品特點

提供具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米技術(shù)、等纖維等領(lǐng)域

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

爐膛采用多晶莫來纖維真空吸附制成，溫場均勻節(jié)能50%以上

自主研發(fā)的空氣導(dǎo)流隔熱技術(shù)保證箱內(nèi)各部件的使用壽命及恒溫效果

啟動電爐，排溫風(fēng)機同時自動運行，試驗結(jié)束后，排溫風(fēng)機將繼續(xù)運行，直至爐體溫度低于60℃，排溫風(fēng)機自行停止，有效保護了爐體表面

爐門開啟自動斷電、超溫保護功能、漏電保護功能，以確保使用的安全性

電路采用連續(xù)加熱輸出方式，雙回路供電，強弱電單獨走線提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性

加熱模塊采用直流信號調(diào)節(jié)輸出功率，避免了感應(yīng)電對控制信號的干擾

操作按鍵選用低壓金屬按鈕，自帶狀態(tài)指示燈，操作安全直觀

上下爐體采用航空插頭連接方式，連接安全可靠方便

氣路總成采用食品級316不銹鋼制成，具有耐蝕性，耐大氣腐蝕性和耐高溫強度好，無磁性

采用數(shù)顯流量顯示儀，配合質(zhì)量流量控制器，采集數(shù)據(jù)并控制流量。具有控制精度高，重復(fù)性好，相應(yīng)速度快，穩(wěn)定可靠等特點。（氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)）

自動控制與手動控制切換功能，自動控制模式能通過設(shè)定值自動開啟/關(guān)閉真空泵，使容器內(nèi)保持在一定的真空壓力范圍內(nèi)。手動控制模式使用用戶通過真空泵開啟/關(guān)閉按鈕直接操作真空泵。以滿足不同實驗的需要。（中真空控制系統(tǒng)）

電磁閥緩啟動技術(shù)，使電磁閥在真空泵開啟10秒鐘后打開，使?fàn)t管內(nèi)系統(tǒng)壓力保持準(zhǔn)確，也保證了廢氣不會返回到爐管系統(tǒng)影響實驗效果（中真空控制系統(tǒng)）

安全性

過升報警、菜單鎖定、過升防止、復(fù)電延時。

采用單向閥技術(shù)，使氣體流量在可控壓力范圍內(nèi)控制，保證安全。

采用混氣罐裝置，使氣體可以在充分混合后導(dǎo)入工作室內(nèi)，確保不會泄露。

產(chǎn)品參數(shù)

溫區(qū)		單溫區(qū)				雙溫區(qū)
型號		CVD-TF16P50	CVD-TF16P60	CVD-TF16P80	CVD-TF16P100	CVD-TF16P60S	CVD-TF16P80S	CVD-TF16P100S
		CVD-TF16T50	CVD-TF16T60	CVD-TF16T80	CVD-TF16T100	CVD-TF16P60S	CVD-TF16T80S	CVD-TF16T100S
性能	使用溫度范圍	300~1600℃
	溫度分辨率	1℃
	控溫精度	±1℃
	升溫速率	0~20℃/min
	加熱區(qū)長度	260mm				600mm
	恒溫區(qū)長度	120mm				300mm
	真空度	-0.1MPa
	空爐升溫時間	＜15min
構(gòu)成	外裝	冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝
	爐膛體	多晶莫來石纖維
	爐膛尺寸	440390330				780390330
	爐管	剛玉管
	爐管尺寸	φ50*1000	φ60*1000	φ80*1000	φ100*1000	φ60*1200	φ80*1200	φ100*1200
	加熱器	硅鉬棒
	加熱功率	4KW		4KW		10KW	10KW
	斷熱層	雙層強制風(fēng)導(dǎo)流
控制器	控制器	P：進口程序控溫數(shù)碼顯示； T：7寸彩色觸摸屏程序控溫
	控制方式	使用微型電腦PID控制/ S型雙溫區(qū)單獨控溫
	設(shè)定方式	P：輕觸五按鍵動作、數(shù)顯設(shè)定；T：手指觸摸輕點設(shè)定
	顯示方式	P：雙行LED數(shù)字顯示； T：彩色液晶屏顯示
	定時	0~999.9小時
	運行功能	定值運行、程序運行
	程序模式	P：程序運行、4條曲線、共40步；T：50步可調(diào)用儲存程序
	傳感器	S型熱電偶
	附屬功能	P：校正功能；T：校正功能、實時曲線記錄、U盤數(shù)據(jù)導(dǎo)出
	安全裝置	過流漏電保護開關(guān)				過流保護開關(guān)
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)	氣路數(shù)量	3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）
	流量范圍	0-0500sccm（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮氣標(biāo)準(zhǔn)
	精度	±1%F.S
	響應(yīng)時間	≤4s
	工作溫度（流量計）	5-45℃
	工作壓力	進氣壓力0.05-0.3MPa（表壓力）
	系統(tǒng)連接方式	采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀
中真空	系統(tǒng)真空范圍	10-100Pa
控制系統(tǒng)	真空泵	雙級機械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/s，出氣口配有油污過濾器，額定電壓200V，功率0.55Kw
	CVD系統(tǒng)配置	1600度真空管式爐（可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)）多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)真空系統(tǒng)