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FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器

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深圳市萬德泉科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用橡膠密封材質(zhì)，適用于常規(guī)無腐蝕性氣體范圍、產(chǎn)品具有高精度、高速應(yīng)答、重復(fù)性好等特點(diǎn)，具有很高的性價(jià)比。市場價(jià)： 0.00價(jià)格：0.00型號： ......

詳細(xì)介紹

FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用橡膠密封材質(zhì)，適用于常規(guī)無腐蝕性氣體范圍、產(chǎn)品具有高精度、高速應(yīng)答、重復(fù)性好等特點(diǎn)，具有很高的性價(jià)比。

FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器廣泛使用在半導(dǎo)體液晶產(chǎn)業(yè)用真空裝置數(shù)據(jù)存儲裝置工業(yè)鍍膜實(shí)驗(yàn)室儀器大氣環(huán)境監(jiān)測等行業(yè)，在CVD、PVD、離子擴(kuò)散、濺射、燃燒、光纖鍍膜、表面處理和其他鍍膜工藝中有大量使用先例并。

技術(shù)特點(diǎn)：

◆低成本
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器針對非腐蝕性氣體和泄漏率要求不高的場合、保證了產(chǎn)品高性能同時(shí)，具有很好性價(jià)比。
◆替換方便
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用業(yè)界通用的通信方式，很容易對其他廠家的產(chǎn)品進(jìn)行替換，從而實(shí)現(xiàn)提高性能和穩(wěn)定性的目的。
◆高信賴和可靠性
FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器優(yōu)秀的統(tǒng)性前世上有大約在行中的產(chǎn)品其年目界4萬只運(yùn)中的產(chǎn)品，其一年內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽(yù)

技術(shù)參數(shù)：

性能指標(biāo)	FC-R7700CD/FC-R7700D系列	FC-R7710CD/FC-R7710D系列	FC-R7720CD/FC-R7720D系列
滿量程范圍	10Sccm-5Slm	N/O:6-20slm* N/C:6-50slm**	35-200Slm
響應(yīng)時(shí)間	滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2秒		滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3秒
精度	≤±1%滿量程	≤±2%滿量程
線性鍍	≤滿量程±0 5%	≤滿量程±0 5% ＃1	≤滿量程±1%
重復(fù)性	≤滿量程±0.2%
泄漏率	1X10E-7 Pa.m 3/sec
控制范圍	滿流量的2%-5% #2
壓差	49Kpa-275Kpa	69Kpa-275Kpa 98Kpa-275Kpa	147Kpa-275Kpa
正常工作壓力	490Kpa
進(jìn)氣壓力	980Kpa
溫度范圍	5-45℃(41-113℉)
輸入電源	+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 180mA		+15VDC±2% 25mA -15VDC±2% 200mA
功率	3.1W max		3.5W max
輸入信號	0-5 VDC
輸出型號	0-5 VDC
控制閥形式	常開或常閉電磁閥
密封件	氟橡膠
材質(zhì)	316L，316，PTFE，不銹鋼（氟橡膠，氯丁橡膠）
標(biāo)準(zhǔn)接口	1/4"VCR和Swagelok兼容		3/8"VCR,1/4"VCR
重量	1.0KG		2.7KG