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行業(yè)產(chǎn)品

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天津市科器高新技術(shù)有限公司


GSL-1100X-SPC16-3 3靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

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更新時(shí)間:2023-02-22 16:36:01瀏覽次數(shù):433次

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產(chǎn)品簡介

GSL1100X-SPC16-3等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)

詳細(xì)介紹

GSL1100X-SPC16-3 等離子3靶濺射儀是一款經(jīng)過CE認(rèn)證的緊湊型等離子鍍膜機(jī)。本機(jī)是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的,、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。它的特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)設(shè)計(jì)安裝了三個(gè)靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備,及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

技術(shù)參數(shù)

電源電壓

220V , 50/60 Hz

輸出功率

  • < 2000W (including pump)
  • 離子電流表:電流:50mA 定時(shí)器:最長時(shí)間900s

輸出電壓(DC)

1600V

樣品室

石英罩: 160 mm Dia. x 120mm Height


樣品載物臺(tái)

  • 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置
  • 濺射面積: 45 mm

配件

  • 120 L/m的雙旋片式機(jī)械真空泵,進(jìn)行抽真空
  • 進(jìn)氣口處安裝有儲(chǔ)氣球,防止泵油的回流,排氣口安裝有立式油污過濾器,可以過濾真空泵在工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,和保護(hù)環(huán)境,和人體健康
  • 不銹鋼波紋管與 KFD-25接口相連用
  • 高純度金箔靶
  • 系統(tǒng)需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶,但我們不提供

可通入氣體

  • 多種 氣壓:-1600-3000DCV
  • 微型真空氣閥:可連接Φ3mm軟管





靶材

標(biāo)配靶材:

  • Au target: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • Cu target: 47 mm dia. x 2.25 mm, 1pcs
  • Al target: 47 mm dia. x 3mm, 1pcs

可選靶材

  • Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N) available at $1590/ea
  • Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N) available at $495/ea
  • Graphite target (47mm dia.x 1.0 mm, 4N) available at $295/ea

設(shè)備特點(diǎn)

  • 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);
  • 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體,獲得鍍膜效果;
  • 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象;
  • 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用;
  • 根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。

外形尺寸

400mm × 300mm × 400mmL×W×H

凈重

50 kg

質(zhì)保期和質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)

關(guān)鍵詞:鍍膜機(jī) 真空泵
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