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更新時(shí)間：2023-05-15 17:24:52瀏覽次數(shù)：205次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L，針對8英寸晶圓的高通量批量清洗系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)靈活的生產(chǎn)線配特點(diǎn)：1.傳輸類型選擇WS-820L用于200毫米晶圓并進(jìn)行無載體轉(zhuǎn)移處理
SCREEN二手清洗設(shè)備WS-820L，針對8英寸晶圓的高通量批量清洗系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)靈活的生產(chǎn)線配
特點(diǎn)：
1.傳輸類型
選擇 WS-820L 用于 200 毫米晶圓并進(jìn)行無載體轉(zhuǎn)移處理。
2. 靈活的設(shè)計(jì)
系統(tǒng)可以根據(jù)應(yīng)用自由配置。處理槽配置最多可包含 13 個(gè)槽。
3. 高吞吐量
可以安裝多個(gè)浴槽，最多可以安裝六個(gè)傳送機(jī)器人，以確保高吞吐量。
4. 高品質(zhì)加工
優(yōu)化的加工槽設(shè)計(jì)、嚴(yán)格的化學(xué)品管理和清潔的干燥裝置有助于穩(wěn)定、高質(zhì)量的加工。
5. 豐富的周邊設(shè)備陣容
提供多種外圍設(shè)備，包括晶圓傳送單元和盒式儲料器。
6. 水印的預(yù)防
可安裝低壓干燥裝置以減少水印并確保干燥清潔
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