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GVC-1200離子濺射儀

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更新時間:2022-10-07 12:00:09瀏覽次數:230次

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產品簡介

GVC-1200離子濺射儀 易于使用的基本濺射涂布機; 設備內置操作向導,在操作人員更換時,無需培訓,即可快速熟練操作設備; 實體按鍵,安全。

詳細介紹



直流濺射工作原理

1.低氣壓下(一定的真空度)氣體的輝光放電現象:

2. 靶材接高壓,本設備為-2400V,為負極;樣品臺接地,為正極;

3. 靶材與樣品臺之間形成電場,電離氣體,可用空氣、Ar、N2;

4.氣體電離后,正離子飛向負極,轟擊靶材,靶材原子被濺射飛出,沉積到樣品上形成導電膜;

5.電子或負離子在電場的作用下,飛向樣品臺,會加熱樣品,濺射電流10mA,濺射時間1分鐘,樣品臺溫度約為60℃

 

工作特點:濺射電流隨壓力變化,壓力升高,濺射電流才能增加;

          壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大,熱損傷隨之加劇。

 

應用領域:非熱敏性樣品,如無機鹽類粉體等,性價比較高

                 適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺式電鏡等




GVC-1000/1200離子濺射儀

金靶

顆粒尺寸20~50nm


產品特點:

一、安全

1高壓線多重防護,外加8×5透明真空管,安全;

2.外殼良好接地;

3.真空互鎖;

4.電流>50mA,真空度超過100Pa,系統(tǒng)自動切斷濺射;

5.實體按鍵,安全;

6.濺射頭采用阻尼設計,任意位置懸停

二、信息量大

1.濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示,簡單直觀;

2.靶材使用時間,儀器使用時間系統(tǒng)自動記錄,直觀了解設備的運行狀態(tài)。

三、快速上手

       設備內置操作向導,在操作人員更換時,無需培訓,即可快速熟練操作設備。


 









  • 更多詳細參數請致電咨詢!




關鍵詞:離子濺射儀
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