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廣州智匯科學儀器有限公司
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更新時間:2022-10-07 12:00:09瀏覽次數:230次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線GVC-1200離子濺射儀 易于使用的基本濺射涂布機; 設備內置操作向導,在操作人員更換時,無需培訓,即可快速熟練操作設備; 實體按鍵,安全。
直流濺射工作原理:
1.低氣壓下(一定的真空度)氣體的輝光放電現象:
2. 靶材接高壓,本設備為-2400V,為負極;樣品臺接地,為正極;
3. 靶材與樣品臺之間形成電場,電離氣體,可用空氣、Ar、N2;
4.氣體電離后,正離子飛向負極,轟擊靶材,靶材原子被濺射飛出,沉積到樣品上形成導電膜;
5.電子或負離子在電場的作用下,飛向樣品臺,會加熱樣品,濺射電流10mA,濺射時間1分鐘,樣品臺溫度約為60℃
工作特點:濺射電流隨壓力變化,壓力升高,濺射電流才能增加;
壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大,熱損傷隨之加劇。
應用領域:非熱敏性樣品,如無機鹽類粉體等,性價比較高
適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺式電鏡等
GVC-1000/1200離子濺射儀
金靶
顆粒尺寸20~50nm
產品特點:
一、安全
1.高壓線多重防護,外加8×5透明真空管,安全;
2.外殼良好接地;
3.真空互鎖;
4.電流>50mA,真空度超過100Pa,系統(tǒng)自動切斷濺射;
5.實體按鍵,安全;
6.濺射頭采用阻尼設計,任意位置懸停
二、信息量大
1.濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示,簡單直觀;
2.靶材使用時間,儀器使用時間系統(tǒng)自動記錄,直觀了解設備的運行狀態(tài)。
三、快速上手
設備內置操作向導,在操作人員更換時,無需培訓,即可快速熟練操作設備。
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