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更新時間:2023-01-22 09:30:52瀏覽次數(shù):230次
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勻膠機(jī)
勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。
由我司提供的勻膠機(jī),在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽,相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。
SPIN-1200T
觸摸面板控制,各種涂層溶液的緊湊單元,可編程配方管理,操作簡單
?勻膠機(jī)
?基板尺寸:小于等于4英寸
?轉(zhuǎn)速:300~7000 rpm(空載時),誤差小于3%(海外10000 rpm)
?菜單程序:50步,50個配方
?卡盤材料:改性鋁、縮醛
?碗尺寸:8英寸
?碗材料:聚丙烯
?尺寸(mm)230(寬)*340(深)*260(高)
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