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晶體生長(zhǎng)爐

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產(chǎn)品型號(hào)藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)設(shè)備

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-11-08 14:45:32瀏覽次數(shù):297次

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簡(jiǎn)單介紹 晶體生長(zhǎng)爐、晶體生長(zhǎng)爐

詳細(xì)介紹

在傳統(tǒng)的直拉法生產(chǎn)單晶材料時(shí),生產(chǎn)設(shè)備存在自動(dòng)化程度低,投料量少、設(shè)備功能單元布局不合理等一系列問(wèn)題,從而導(dǎo)致單晶生產(chǎn)中人工勞動(dòng)強(qiáng)度大、單位產(chǎn)能與品質(zhì)低,成本高等一系列問(wèn)題。隨著社會(huì)的進(jìn)步,市場(chǎng)對(duì)新一代單晶生產(chǎn)設(shè)備轉(zhuǎn)向自動(dòng)化程度高、投料量大、單位時(shí)間產(chǎn)能高、能耗低等方面。針對(duì)這些需求,爐壓自動(dòng)控制技術(shù)、CCD非接觸測(cè)量技術(shù)、爐體恒溫控制技術(shù)的發(fā)展的進(jìn)一步要求也是自動(dòng)化;大爐體,高副室,旋板閥,水冷屏等的技術(shù)改進(jìn),是提高投料量與產(chǎn)能的必要方式。當(dāng)投料量與產(chǎn)能達(dá)到一定程度時(shí),副室的高度會(huì)進(jìn)一步增加,因此坩堝托盤與提拉頭的動(dòng)平衡問(wèn)題會(huì)日漸突出,如何保證兩大低頻非規(guī)則運(yùn)動(dòng)部件的動(dòng)平衡將會(huì)是一大挑戰(zhàn)。

NVT-HG型單晶爐可實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)過(guò)程的全自動(dòng)控制,爐壓全自動(dòng)控制,采用CCD測(cè)量技術(shù),此外還以其大裝爐量、高生產(chǎn)效率、低能量消耗,為客戶帶來(lái)額外利益。

應(yīng)用領(lǐng)域

? 直拉法晶體提純

? 直拉法多晶生長(zhǎng)

? 直拉法單晶生長(zhǎng)

? 目前主要用于單晶硅棒的生產(chǎn)制造

適用工藝

爐壓自動(dòng)控制、CCD非接觸測(cè)量、自動(dòng)旋板閥、下排氣流線型管路等

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 單臺(tái)2噸以上的月產(chǎn)能,實(shí)現(xiàn)單晶硅棒量產(chǎn)。
  • 合理的爐體布局,使得爐子能耗同比下降10%。
  • 大尺寸的主室為大投料量留下了空間。
  • CCD系統(tǒng)保障了晶體的自動(dòng)引放與等徑,為以后升級(jí)預(yù)備了空間。
  • 自動(dòng)旋板閥的應(yīng)用大大提高了副室的可應(yīng)用長(zhǎng)度,自動(dòng)開(kāi)旋大大減少了操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。
  • 下排氣的流線型設(shè)計(jì),為硅料頁(yè)面提供穩(wěn)定的氬氣氛圍,大大提高液面與硅棒生產(chǎn)的穩(wěn)定性。
  • 在的漏水等情況發(fā)生時(shí),爐蓋泄壓設(shè)計(jì)防止了爐體爆炸,將高壓泄 放。
  • 自動(dòng)爐壓系統(tǒng)快速調(diào)整爐壓,實(shí)現(xiàn)了爐體自動(dòng)壓力恒壓,解決了人工調(diào)整爐壓的滯后性和準(zhǔn)確性等問(wèn)題。
  • 工藝菜單為客戶提供了各類工藝設(shè)置儲(chǔ)存,客戶可以按照自主工藝自動(dòng)生產(chǎn)晶體。
  • 單機(jī)版數(shù)據(jù)工作站按每分鐘儲(chǔ)存一次的速率快速存儲(chǔ)數(shù)條關(guān)鍵數(shù)據(jù),為 用戶實(shí)現(xiàn)工藝參數(shù)追溯。

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