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ME-L型寬光譜穆勒矩陣橢偏儀

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更新時間:2022-11-17 17:16:35瀏覽次數(shù):158次

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產(chǎn)品簡介

1.ME-L型寬光譜穆勒矩陣橢偏儀概述ME-L是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了頤光科研團隊在橢偏技術(shù)多年的投入,其采用行業(yè)的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補償器、雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等

詳細介紹

1. ME-L型寬光譜穆勒矩陣橢偏儀

 
 
概述

ME-L 是一款科研級全自動高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了頤光科研團隊在橢偏技術(shù)多年的投入,其采用行業(yè)的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補償器、雙旋轉(zhuǎn)補償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等??蓱?yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析。
 
雙旋轉(zhuǎn)補償器(DRC)配置一次測量全部穆勒矩陣16個元素;
配置自動變角器、五維樣件控制平臺等優(yōu)質(zhì)硬件模塊;
軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計,易上手、操作便捷;
豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力。
 
一、產(chǎn)品特點
1、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);



2、可實現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,測量信息量更大,測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準;



3、基于雙旋轉(zhuǎn)補償器配置,可一次測量獲得全部穆勒矩陣的16個元素,相對傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息;



4、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi),提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜;





5、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;



6、集成對納米光柵的分析,可同時測量分析納米結(jié)構(gòu)周期、線寬、線高、側(cè)壁角、粗糙度等幾何形貌信息;




二、產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu):介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜,激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件等;
半導(dǎo)體周期性納米結(jié)構(gòu):納米光柵,套刻誤差,T型相變存儲器等;
新材料,新物理現(xiàn)象研究:材料光學(xué)各向異性,電光效應(yīng)、彈光效應(yīng)、聲光效應(yīng)、磁光效應(yīng)、旋光效應(yīng)、Kerr效應(yīng)、Farady效應(yīng)等;
平板顯示:TFT、OLED、等離子顯示板、柔性顯示板等;
光伏太陽能:光伏材料(如Si3N4、Sb2Se3、Sb2S3、CdS等)反射率,消光系數(shù)測量,膜層厚度及表面粗糙度測量等;
功能性涂料:增透型、自清潔型、電致變色型、鏡面性光學(xué)涂層,以及高分子、油類、Al2O3表面鍍層和處理等;
生物和化學(xué)工程:有機薄膜、LB膜、SAM膜、蛋白子分子層、薄膜吸附、表面改性處理等;
塊狀材料分析:固體(金屬、半導(dǎo)體、介質(zhì)等)或液體(純凈物或混合物)的折射率n和消光系數(shù)k表征,玻璃新品研發(fā)和質(zhì)量控制等。
建議配件
溫控臺 Mapping擴展模塊 真空泵 透射吸附組件

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