當(dāng)前位置：八帆儀器設(shè)備（上海）有限公司>>>>MPI手動晶圓級探針臺系統(tǒng)

MPI手動晶圓級探針臺系統(tǒng)

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-02-18 13:19:29瀏覽次數(shù)：279次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無信息

八帆儀器設(shè)備（上海）有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：44條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

MPI手動晶圓級探針臺系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

TS300-SE Probe System

MPI TS300-ShielDEnvironment™（TS300-SE）12英寸探針臺旨在對300mm晶圓及以下微小器件提供高級EMI / RFI /不透光屏蔽，超低噪聲，低泄漏測量功能環(huán)境。它以高度與防震臺結(jié)合在一起，使日常操作非常方便。

適用于多種晶圓量測應(yīng)用

如組件特性描述和建模、射頻和毫米波、晶圓級可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境
支援飛安級低漏電值量測
內(nèi)置防震系統(tǒng)
溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

TS300-SE Probe System細(xì)節(jié)優(yōu)勢

MPI TS300-SE手動探針臺系統(tǒng)具有的功能。具有高度可重復(fù)性（1µm）的壓板提升設(shè)計，具有用于安全，接觸(0µm)，分離（300µm）和加載（3mm）的三個抬升位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準(zhǔn)確的觸點定位和安全設(shè)置。附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探針與卡盤對齊。

特點與優(yōu)勢

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可提供超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的測試環(huán)境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™微暗室屏蔽系統(tǒng)提供多達(dá) 4個端口的RF或多達(dá)8個端口的DC / Kelvin等多種搭配測試組合。

MPI ShielDCap™便于屏蔽，易于重新配置,在簡化日常操作方面發(fā)揮了重要作用。

空氣軸承

MPI的氣墊載物臺設(shè)計，具有簡單的單手定標(biāo)器控制，為快速的XY導(dǎo)航和晶圓裝載提供了的操作便利性，同時又具有精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，不影響精確定位能力。

的卡盤Z調(diào)整

TS300-SE除空氣軸承XY工作臺外還包括5mm的Z吸盤調(diào)整（μm分辨率），可實現(xiàn)精確的接觸/超程控制或探針卡跌落校正。

1毫米刻度指示器為操作員提供了簡便的反饋，另外20毫米氣動舉升機提供了便攜式的一鍵升降程序。

多種卡盤選項

TS300-SE可提供多種卡盤選件，以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求。

MPI和ERS共同設(shè)計了新型300mm熱卡盤AirCool®PRIME技術(shù)系列，提供的熱彈性，溫控時間可減少60%，同時還可提供市場上的熱范圍。

減少轉(zhuǎn)換時間，改善電氣性能，使在惰性氣體環(huán)境下的測試更容易，另外的現(xiàn)場可升級性是AirCool®PRIME熱卡盤系統(tǒng)的附加價值。

卡盤有以下幾種型號：同軸、三軸或RF、高壓等多種型號，帶有兩個輔助陶瓷卡盤，可用于精確穩(wěn)定的校準(zhǔn)。

溫度控制集成

晶圓裝載門可在低于15°C的任何溫度下鎖定，此功能使TS300-SE成為市場上的手動探針臺。

此外，溫控系統(tǒng)可以通過集成式的觸摸屏進行操作，該觸摸屏按人體工程學(xué)原理安裝在探測器上的方便位置，以實現(xiàn)快速調(diào)整和即時反饋。

ERS的AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下探針臺系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)及其空氣管理系統(tǒng)，可直接從“已用"空氣中清除MPI ShielDEnvironment™，與市場上的其他系統(tǒng)相比，可減少多達(dá)30％至50％的干燥空氣消耗。

多種光學(xué)選項

MPI光學(xué)器件可以選擇單筒顯微鏡MPI SuperZoom™SZ10，高達(dá)12倍光學(xué)變焦的MegaZoom™MZ12或超過42毫米工作距離的EeyZoom™EZ10 ——其具有人體工程學(xué)20倍目鏡的10倍光學(xué)變焦系統(tǒng)，90mm工作距離和低至2um以下的光學(xué)分辨率。