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快速3D輪廓測量儀

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更新時(shí)間：2023-05-10 15:33:01瀏覽次數(shù)：380次

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北京歐唐科技發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

CUBE系統(tǒng)是專門為車間的品控設(shè)計(jì)的，針對拋光、模壓和金剛石車削的光學(xué)元件的快速檢驗(yàn)，包括紅外材料和金屬。這個(gè)系統(tǒng)的另一個(gè)優(yōu)勢是能在單個(gè)測量序列中完成多個(gè)較小的透鏡或透鏡陣列的測量。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

系統(tǒng)集成了一對共焦色差位移傳感器（納米分辨率），采用單點(diǎn)非接觸式測量，配合高速X/Y/Z多軸坐標(biāo)運(yùn)動，可以同時(shí)采集單個(gè)鏡片或微鏡頭前后表面和基準(zhǔn)面的3D形狀點(diǎn)云得到相應(yīng)的幾何特征。不僅可以測量旋轉(zhuǎn)對稱的樣品，還可測量更復(fù)雜的非軸對稱或自由曲面樣品，樣品的直徑可達(dá)到50mm（外徑75mm）。

根據(jù)透鏡直徑和三維點(diǎn)云采樣密度的不同，透鏡每個(gè)表面的測量時(shí)間范圍是30秒到4分鐘。（30-240秒）

應(yīng)用

特點(diǎn)

測量的幾何特征包括：

1. 相對于中心軸，前后表面頂點(diǎn)的偏移

2. 相對于水平基準(zhǔn)，前后表面的楔角

3. 前后表面的總體厚度變化（TTV）

4. 前后表面矢高與表面面形

? 緊湊，帶隔離箱的臺式設(shè)計(jì)

? 雙共焦色差傳感器（8kHz）、單點(diǎn)、非接觸、可見光測量

? 振動不敏感，穩(wěn)定的殷鋼框架

? 納米級編碼X/Y/Z多軸坐標(biāo)運(yùn)動，以磁驅(qū)直線電機(jī)，采用交叉滾子軸承，在50mmx50mm x50mm的范圍內(nèi)，完成快速柵格或螺旋掃描

? 精密自定心夾具，快速裝卸樣品

? 夾具同時(shí)適用于75mm外徑的光學(xué)元件和微透鏡陣列

? 簡單方便的QuickPro操作和數(shù)據(jù)采集軟件，擁有傳感器優(yōu)化設(shè)置、數(shù)據(jù)采集、自動定心和坐標(biāo)運(yùn)動功能

? CalcuSurf-3D 視圖分析軟件，用于觀察分析多表面的三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)

產(chǎn)品參數(shù)

系統(tǒng)
尺寸（長/寬/高）	500mm/500mm/500mm
重量	30kg
系統(tǒng)控制	電源，運(yùn)動控制，傳感器控制
電源
運(yùn)動控制
運(yùn)動范圍	50mm x50mm x50mm
編碼器分辨率（X/Y/Z）	5nm/5nm/1nm
驅(qū)動形式	磁驅(qū)直線電機(jī)
軸承形式	交叉滾子軸承
平整度	1um/50mm
樣品尺寸	外徑75mm
載重	2kg
傳感器
技術(shù)	色差共聚焦
應(yīng)用	距離，偏心，楔角，矢高，厚度
采樣	：4000點(diǎn)/秒
可選測頭	0.2mm	1mm	4mm
橫向分辨率	1.5um	2.5um	4um
工作距離	5mm	16mm	37mm
軸向分辨率	10nm	50nm	150nm
軸向精度	50nm	100nm	500nm
斜率	±45°	±28°	±20°
測量精度
平移偏心	≤5um
傾斜偏心	≤10arcsec
矢高誤差	≤0.5um
厚度（S1-S2）	≤5um