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沈陽愛科斯科技有限公司


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IKS-OPT2700電子束蒸發(fā)光學(xué)鍍膜機(jī)

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更新時(shí)間:2023-02-12 10:12:03瀏覽次數(shù):667次

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備用途:大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜

詳細(xì)介紹


  設(shè)備用途:大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。

  愛科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機(jī)為實(shí)現(xiàn)大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設(shè)計(jì),本機(jī)為立式單腔體鍍膜機(jī),是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統(tǒng)。本設(shè)備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等,例如,可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等,也可以為特定的簡單光學(xué)特性膜系進(jìn)行調(diào)試生產(chǎn)。

  設(shè)備特點(diǎn)

  1. 產(chǎn)品設(shè)計(jì),由愛科斯技術(shù)與產(chǎn)品性能的無縫對接整合,創(chuàng)造可靠、穩(wěn) 定、安全、智能化鍍膜系統(tǒng)!

  2. 真空獲得,重新優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空獲得系統(tǒng),滿足快捷平穩(wěn)真空環(huán)境!

  3. 蒸發(fā)源和離子源,合理的布局和高品質(zhì)的加工技術(shù),調(diào)試技術(shù),實(shí)現(xiàn)工藝 進(jìn)程自動(dòng)調(diào)節(jié),電子束創(chuàng)新結(jié)構(gòu)與精確速率保障材料沉積更精確、穩(wěn)定!

  4.自動(dòng)運(yùn)行控制系統(tǒng),全新開發(fā)精確穩(wěn)定系統(tǒng)!設(shè)置簡單,操作簡便!

  設(shè)備簡述

  IKS-OPT2700是專為大面積光學(xué)薄膜鍍膜而設(shè)計(jì)的電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)。鍍膜機(jī)系統(tǒng)由真空室、真空泵、真空檢測與控制、襯底加熱系統(tǒng)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、離子源輔助沉積系統(tǒng)、電阻蒸發(fā)系統(tǒng)、膜厚監(jiān)測系統(tǒng)、工作氣體體積流量控制系統(tǒng)、工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、PLC控制的自動(dòng)鍍膜等組成。

  蒸發(fā)材料常用稀有金屬,如氟化釔、氟化鐠、鍺、硫化鋅、氟化鎂、、二氧化硅、氧化鋯、鈷、鎵、硒等金屬。銅、鉬、硅、鍺等金屬是反射器光學(xué)材料中常用的材料。

  可涂裝可見光彩色膜、鋁反射膜、AF指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)膜、可見光分光膜、可見光防反射膜等

  設(shè)備參數(shù)

爐體尺寸

Ф2700×H1670

工件架

φ2650*H420mm

真空度

極限真空:6×10-4Pa(24小時(shí)空載,不加熱)

重量

8000kg,地板承重1000kg/m2

漏率

4×10-3Pa×L/S(氦撿漏)

溫度

室溫-250℃,溫度均勻性±5%

工作真空

6*10-3Pa(自動(dòng)工藝啟動(dòng))

供電

三相電, 380V,50Hz60-100KW

低真空

10 分鐘10Pa

水冷

腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機(jī)流量大于1600l/h

高真空

6 分鐘8×10-3Pa

溫水

蒸發(fā)源1800l/h,35-60

真空測量

全程監(jiān)控,實(shí)時(shí)取點(diǎn)

占地

L6×w5.5×H3.5m

應(yīng)用

眼鏡、反光鏡、手機(jī)背板、防護(hù)罩、光通訊、光學(xué)顯示等

 

  應(yīng)用




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