產(chǎn)品介紹:
MWR-2S-3I是一款功能異常強(qiáng)大的無接觸少子壽命及紅外探傷綜合測試儀,能夠?qū)尉Ч璋?、多晶硅塊及硅片提供快速、無接觸、無損傷、高分辨率的多功能掃描測試。一方面,其通過微波光電衰退特性原理來測量非平衡載流子壽命的;另一方面,通過近紅外對硅材料的光學(xué)特性,探測缺陷。并且單晶硅棒、多晶硅塊無須進(jìn)行特殊處理。此設(shè)備是太陽能電池硅片企業(yè)、多晶鑄錠企業(yè)、拉晶企業(yè)*的測量儀器。
產(chǎn)品特點
■系統(tǒng)功能強(qiáng)大,少子壽命及缺陷同時測量
■無接觸和無損傷測量
■自動測量,具有傳送系統(tǒng),可進(jìn)行連續(xù)測量
■快速測量,測試掃描速度達(dá)到2000mm/min
■ 測試范圍廣:包括硅塊、硅棒、硅片等
■應(yīng)用于硅棒硅塊、硅片的進(jìn)廠、出廠檢查,生產(chǎn)工藝過程中重金屬沾污和缺陷的監(jiān)控等
■ 性價比高,*程度地降低了企業(yè)的測試成本
■可以在線實時對產(chǎn)品監(jiān)控
*工作條件
■溫度:18-26℃
■濕度:10%~80%
■大氣壓:750±30毫米汞柱
技術(shù)指標(biāo)
■主機(jī)尺寸:63cm * 36cm *59cm
■測試尺寸:190mm*190mm*500mm
■測試掃描速度:2000mm/min
■ 電阻率范圍:>0.5Ω.cm
■ 硅棒硅塊掃描間距:≥1mm
■儀器測試精度:±3.5%,信號處理偏差≤2%
■少子壽命測試范圍:0.1μs-30ms
■ 少子檢測激光波長:975nm,測試功率范圍:50-500mw
■紅外波長:2300nm,測試功率范圍:50mw
■紅外探傷可分辨zui小尺寸:0.1mm
■微波工作頻率:10GHz±0.5
■微波測試單元功率:0.01W±10%
■電源:~220V 50Hz 功耗<160W
■主機(jī)重量:32KG
典型客戶
德國,瑞士,美國,日本,俄羅斯及國內(nèi)河北,江西,江蘇,浙江,廣西,上海,遼寧等地拉晶鑄錠客戶。