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更新時間:2023-10-06 10:45:10瀏覽次數(shù):126次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品詳情規(guī)格參數(shù):?旋涂基材6英寸或更小?包括三個真空旋轉(zhuǎn)卡盤?用于手套箱的占地面積小?易于使用的觸摸屏界面?可編程旋涂工藝?耐用的設(shè)計以及耐化學(xué)腐蝕的材料?耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗?耐用的不銹鋼機(jī)身
規(guī)格參數(shù):
?旋涂基材6英寸或更小
?包括三個真空旋轉(zhuǎn)卡盤
?用于手套箱的占地面積小
?易于使用的觸摸屏界面
?可編程旋涂工藝
?耐用的設(shè)計以及耐化學(xué)腐蝕的材料
?耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗
?耐用的不銹鋼機(jī)身,具有耐化學(xué)腐蝕的透明旋轉(zhuǎn)蓋
?4.3"觸摸屏界面
?基板尺寸:從1厘米到6英寸晶圓
?轉(zhuǎn)速范圍:100-12000 RPM
?轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
?加速范圍:空載100-30000 RPM / s
?程序:10個旋轉(zhuǎn)程序,每個程序有10個步驟
?安全:真空聯(lián)鎖和旋轉(zhuǎn)蓋聯(lián)鎖
?尺寸:270(W)*387(D)*258(H)
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