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場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡

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更新時間:2023-08-03 16:14:20瀏覽次數(shù):141次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹失效分析是在提高產(chǎn)品質(zhì)量,技術(shù)開發(fā)、改進,產(chǎn)品修復及仲裁失效事故等方面具有很強的實際意義,是根據(jù)失效模式和現(xiàn)象,通過分析和驗證,模擬重現(xiàn)失效的現(xiàn)象,找出失效的原因,挖掘出失效的機理的活動

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

失效分析是在提高產(chǎn)品質(zhì)量,技術(shù)開發(fā)、改進,產(chǎn)品修復及仲裁失效事故等方面具有很強的實際意義,是根據(jù)失效模式和現(xiàn)象,通過分析和驗證,模擬重現(xiàn)失效的現(xiàn)象,找出失效的原因,挖掘出失效的機理的活動。

我們?yōu)榭蛻籼峁┑碾婌o檢測分析服務為:場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡、鎢燈絲掃描電子顯微鏡冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡、透視電子顯微鏡、場發(fā)射透射電子顯微鏡。

 

設備名稱:場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡

型號:Quanta 400 FEG

廠家:美國FEI

主要用途:

? 可在高真空、低真空(130Pa)、環(huán)境真空(4000Pa)下觀察導電和不導電樣品,對材料的表面和橫截面的微觀形貌、成分進行分析,廣泛應用于金屬材料、高分子材料、半導體材料、納米材料等領域;

? 配備的Apollo40 SDD能譜無需液氮制冷,可進行快速的點、線、面分布分析,獲得能譜的mapping圖譜;

? 其樣品室直徑達284 mm,對于直徑達四英寸硅片可以直接進行測試,無需對樣品進行分割處理;

? 附件MonoCL3+陰極熒光譜儀不僅可以測量材料微區(qū)在電子束激發(fā)下的發(fā)光光譜,而且可以進行成像 顯示,從而可以對樣品的禁帶寬度、雜質(zhì)缺陷等進行表征,獲取更為豐富的信息;? 可以測量材料的電子束感生電流(EBIC),從而獲得材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)缺陷等信息,與陰極熒光測量互為補充。

主要配置:

? MonoCL3+陰極熒光譜儀,波長范圍160-930nm

? 電子束感生電流(EBIC)

? STEM探測器

? Apollo 40 SDD能譜儀

? 液氮冷臺,溫度范圍為-185℃- +200℃

? 液氦冷臺,溫度范圍為6K-300K

性能指標:

? 肖特基場發(fā)射電子槍

? 加速電壓:200V-30 kV

? 放大倍數(shù):12-2,000,000

? 分辨率:

高真空:

- 0.8nm at 30kV (STEM)

- 1.2nm at 30kV (SE)

- 2.5nm at 30kV (BSE)

- 3.0nm at 1kV (SE)

低真空:

- 1.5nm at 30kV (SE)

- 2.5nm at 30kV (BSE)

- 3.0nm at 3kV (SE)

環(huán)境真空:

- 1.5nm at 30kV (SE)

? 樣品室:284mm,5軸馬達臺

? EDS分辨率:優(yōu)于136 eV,可分析包括B5以上的所有元素

場發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡


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