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蘇州奧揚(yáng)機(jī)電設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2023-11-03 13:25:53瀏覽次數(shù)：146次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線KOFLOC3660質(zhì)量流量控制器從大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中，我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型取得了許多成就，我們有各種衍生模型和選項(xiàng)
KOFLOC 3660 質(zhì)量流量控制器
從大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)的研發(fā)應(yīng)用中，我們作為各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型取得了許多成就，我們有各種衍生模型和選項(xiàng)。
| 模型 | 3660 | 3665 | |
|---|---|---|---|
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可選） | 30SLM~100SLM（可選） | |
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方法 | 比例螺線管閥門（未通電時(shí)關(guān)閉） | ||
| 控制范圍（* 1） | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 響應(yīng)速度 | 在2秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)） | 在3秒內(nèi) （在±2％F.S.內(nèi)） | |
| 準(zhǔn)確性 | ±1.0％F.S.（25°C） | ±1.5％F.S.（25°C） | |
| 溫度系數(shù) | ±0.1％F.S./°C（15~35°C） | ±0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | ||
| 操作壓差 | F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） | F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G） | ||
| 可選：中壓差壓規(guī)格（MP），低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 | |||
| 壓力（* 1） | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 2） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | 主體SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼 | ||
| 閥座FKM（選件CR或NBR） | |||
| 密封材料FKM（選件CR或NBR） | |||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)） | ||
| 流量設(shè)定 輸入信號(hào) | 0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量輸出信號(hào) | 0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上） | ||
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA | ||
| 接頭 （體型） | 標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 | |
| 重量 | 約1000g | 約1500g | |
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