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GU-SP2000 全自動(dòng)磁控離子濺射儀

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產(chǎn)品簡介

高壓線多重防護(hù)；外殼良好接地；真空互鎖; 系統(tǒng)自動(dòng)防護(hù)性切斷濺射；實(shí)體按鍵，很安全。

詳細(xì)介紹

安全至上
高壓線多重防護(hù)；外殼良好接地；真空互鎖; 系統(tǒng)
自動(dòng)防護(hù)性切斷濺射；實(shí)體按鍵，很安全。

注重用戶體驗(yàn)
5英寸液晶屏，簡潔明了;
可多設(shè)置兩個(gè)參數(shù)，即可開始工作；
系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整真空度，無需人工調(diào)節(jié)針閥;
自動(dòng)放氣；樣品臺高度可調(diào)節(jié)。

信息量大
濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實(shí)時(shí)顯示，簡單直觀；
靶材使用時(shí)間，儀器使用時(shí)間系統(tǒng)自動(dòng)記錄，直觀了解設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)；

快速上手
設(shè)備內(nèi)置操作向?qū)В诓僮魅藛T更換時(shí)，無需培訓(xùn)，即可快速熟練操作設(shè)備；

應(yīng)用領(lǐng)域廣
濺射電流與壓力無關(guān)、基本沒有熱損傷，因此適用于所有樣品，尤其是溫度敏感性樣品如生物、聚合
物等樣品；工作時(shí)真空度好，鍍膜的顆粒度更小，更適用場發(fā)射等高分辨觀測電極制備。

主要參數(shù)

輸入電壓：AC220V±10%，50Hz
工作電壓：DC600V
上限功率：（主機(jī)與機(jī)械泵） 450W
可選靶材：金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬
真空泵：兩級直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s
真空腔：約φ125×125mm
樣品杯：φ64×1
整機(jī)尺寸：（長×寬×高） 424×271×255（mm）
重量（主機(jī)）： 11 kg
工作環(huán)境：溫度 5～40℃，濕度<60%
存儲環(huán)境：溫度-10~60℃，濕度<80%
工作氣體：Air / Ar
保護(hù)功能：過流、真空雙保護(hù)