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熱式質(zhì)量流量計(jì)

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熱式質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品介紹:熱式質(zhì)量流量計(jì)大連索尼卡公司一直致力于流量測(cè)量的研究,本款熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)用于精確的測(cè)量氣體的流量,具有不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)、重復(fù)性好、自動(dòng)測(cè)量、工作壓力范圍寬,可以在真空或高壓氣路中工作,大流量分流器不易堵塞等特點(diǎn)

詳細(xì)介紹

 

熱式質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品介紹:

熱式質(zhì)量流量計(jì)

大連索尼卡公司一直致力于流量測(cè)量的研究,本款熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)用于精確的測(cè)量氣體的流量,具有不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)、重復(fù)性好、自動(dòng)測(cè)量、工作壓力范圍寬,可以在真空或高壓氣路中工作,大流量分流器不易堵塞等特點(diǎn)。
? ? 質(zhì)量流量計(jì)(FFM)/質(zhì)量流量控制器(FFC)用于精密地測(cè)量或控制氣體的質(zhì)量流量, 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的流量傳感器是熱式質(zhì)量流量傳感器。 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)由傳感器、分流器、主通道及電路板等部分組成,用于測(cè)量流量;MFC除了具有與MFM類似的各部件之外,還有一個(gè)控制閥門及PID控制電路,它不但能測(cè)量流量,還能控制流量。
? ? 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的氣體通道的材料為316L不銹鋼,密封材料可選橡膠或金屬材料等。 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)原則上可以使用任何氣體,包括腐蝕性氣體,不過要注意恰當(dāng)選擇產(chǎn)品型號(hào)和密封材料。 模擬流量計(jì)產(chǎn)品的流量輸入輸出信號(hào)是0~+5V電壓信號(hào),個(gè)別產(chǎn)品是4~20mA電流信號(hào),對(duì)應(yīng)于流量的0~滿量程。數(shù)字模擬兼容的流量計(jì)產(chǎn)品的流量輸入輸出信號(hào),除了有0~+5V模擬信號(hào)外,還具有RS232 / RS485計(jì)算機(jī)串行通訊信號(hào)。全數(shù)字化流量計(jì)產(chǎn)品通常采用現(xiàn)場(chǎng)總線通訊方式。
? ? 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)得的質(zhì)量流量等同于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量,其質(zhì)量流量單位表示為SCCM (每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升) 或SLM (每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指壓力為一個(gè)大氣壓(101325Pa)、溫度為0℃。 產(chǎn)品出廠時(shí)一般用氮?dú)鈽?biāo)定。用戶使用其它氣體時(shí),可以用說明書中提供的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行讀數(shù)修正,或提出根據(jù)使用氣體進(jìn)行轉(zhuǎn)換標(biāo)定,如果可行的話,也可以要求我公司以實(shí)際使用的氣體進(jìn)行標(biāo)定。 SONIC系列流量顯示儀可以和質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器配合使用,由前者提供工作電源和進(jìn)行流量顯示。

?熱式質(zhì)量流量計(jì)

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【性能特點(diǎn)】
●量程:5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10……2000SLM
●準(zhǔn)確度:±1%F.S
●線性度:±0.5~1% F.S
●重復(fù)精度:±0.2% F.S
●響應(yīng)時(shí)間:10S
●氣壓降: <0.01MP
●壓力:10MP
●工作環(huán)境溫度: 5~45℃
●輸出信號(hào):0~+5.00V
●電源:+15V 50mA -15V 200mA?
●外形尺寸:158.7*60*198,161.7*60*198可選
●重量:2.5 Kg
●防爆等級(jí):Exd II BT6


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