邁可諾技術(shù)有限公司作者
什么是勻膠機(jī)?
勻膠機(jī)有很多種稱謂,英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī),總的來說,他們原理都是一樣的,既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
如何選購合適的勻膠機(jī)?
針對目前勻膠機(jī)市場品牌眾多,良莠不齊現(xiàn)象,筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)技術(shù)服務(wù)的實際經(jīng)驗。幫助廣大用戶提高辨別能力,為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn)。
從其原理來說,我們可以看出選購勻膠機(jī)需要注意的幾個細(xì)節(jié)“
1、旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的,比如:美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
2、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機(jī)做得不錯,他們有通過聯(lián)動機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉(zhuǎn)。
3、 材質(zhì)的選擇
對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),因為這種材質(zhì)的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時,時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟?。┎馁|(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
筆者提醒:
在選購勻膠機(jī)的過程中,除了商家的宣傳外,用戶更應(yīng)掌握必要的空調(diào)知識,從技術(shù)指標(biāo)上判別勻膠機(jī)的性能。而從目前市場上看,品牌的勻膠機(jī)系統(tǒng)在性能上更具優(yōu)勢。例如:MYCRO MSC-650系列勻膠旋涂儀轉(zhuǎn)速獲NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。其中MYCRO MSC-400B型高精度數(shù)碼控制器的勻膠旋涂儀,非常方便設(shè)定速度和加速度程序段,20個51步程序段或者手動模式,100~8000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速,也可特別訂制1~12000RPM的轉(zhuǎn)速,可重復(fù)性達(dá)到+/-0.5RPM,分辨率小于0.5RPM;MSC-400B數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器,其設(shè)置點精度小于0.006%,獲美國NIST激光測量標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,無需校準(zhǔn);
NIST為美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究所National Institute of Standards and Technology,是一個聯(lián)邦政府制定標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)章制度的機(jī)構(gòu)。專門開發(fā)和推廣測量方法、標(biāo)準(zhǔn)以提高生產(chǎn)、促進(jìn)貿(mào)易和改善生活質(zhì)量。 NIST向美國工業(yè)和研究部門、政府機(jī)構(gòu)等提供多達(dá)1300種以上的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),用來進(jìn)行現(xiàn)場儀器標(biāo)定,質(zhì)量控制,檢驗測量精度以及開發(fā)新的測量方法。
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