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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
參 考 價(jià) | 面議 |
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更新時(shí)間:2022-09-26 13:15:05瀏覽次數(shù):301次
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簡(jiǎn)要描述:VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),基片大尺寸2英寸,加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類(lèi)型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),可以依次在同一樣品上涂覆三種材料,金靶,銀,銅, 它可以與真空泵,不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用。
技術(shù)參數(shù) | |||||
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主要參數(shù) |
● 輸入電源:220V 通用 功率:< 1KW ● 工作電流: 濺射電流:0-50 mA可調(diào) ● 單次工作時(shí)間:0-5分鐘可調(diào) ● 靶頭數(shù)目:3個(gè) ● 輸出電壓:1600V DC ● 樣品臺(tái)加熱溫度:500℃(選配)
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濺射腔體 |
● 采用石英腔體,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H ● 密封:采用O形密封圈密封
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樣品臺(tái) |
● 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片,可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置 ● 濺射距離:25 - 40毫米可調(diào) ● 可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)(MAX溫度可到500℃) ● PID控制器控溫精度+/- 1℃(已集成到觸摸屏上)
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控制面板 |
● 控制面板為PLC,4.3" 觸摸屏 ● 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度
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真空泵(選配) |
● 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊) ● 用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr(僅供參考,詳情請(qǐng)點(diǎn)擊)
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進(jìn)氣口 |
一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量
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靶材 |
● 要求安裝靶材的尺寸:直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm ● 可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接
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外形尺寸 |
● 460mm×330mm×540mm (L×W×H) ● 凈重:50KG(不包括泵)
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質(zhì)保期 |
一年保修,終身技術(shù)支持 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
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質(zhì)量認(rèn)證 | CE認(rèn)證
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各種靶材的參數(shù)(僅供參考) |
對(duì)于濺射各種金屬靶材,需要摸索THE BEST 的濺射參數(shù),下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)(參考值, 詳情請(qǐng)點(diǎn)擊) | ||||
靶材種類(lèi) | 真空度(Pa) | 濺射電流(mA) | 時(shí)間(s) | 濺射次數(shù) | |
Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | |
Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | |
使用注意事項(xiàng) |
● 由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī) 或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié) ● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜 ● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量,必須通入高純氣體(建議> 5N) ● 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 ● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面 ● 超聲波清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲(2)異丙醇超聲-去除油脂(3)吹氮?dú)飧稍铮?) 真空烘箱除去水分。 ● 等離子清洗(詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學(xué)鍵,可祛除額外的污染物 ● 制造一個(gè)薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
超聲波清洗機(jī) 等離子清洗機(jī) 大功率磁控濺射儀 蒸鍍儀 手套箱
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警告 |
● 注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機(jī)體。 ● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標(biāo)配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。 ● 濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶材 |
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